Les nouveaux éléments optiques diffractifs (DOE) à double spots fabriqués par Holo/OR ont une efficacité de 97% tandis que les versions classiques précédentes atteignaient à peine 81%.
Double-spots à haute efficacité (HEDS)
Les séparateurs de faisceaux diffractifs séparent le faisceau incident en plusieurs faisceaux ayant des propriétés identiques. La somme des intensités de tous les faisceaux partiels est approximativement équivalente à l’intensité totale du faisceau incident. Pour les nouveaux « DOE à double faisceaux et haute efficacité », cela correspond à plus de 48% de l’intensité totale pour chaque faisceau partiel !
Avantage : plus d’ordres de diffraction élevés
Dans les versions précédentes, une partie du rayonnement présentait des ordres de diffraction plus élevés ; ceci est indiqué en bleu dans la figure à côté. Les éléments HEDS présentent des ordres de diffraction supérieurs négligeables ce qui est un avantage dans les applications critiques.
Les HEDS sont disponibles à des longueurs d’onde comprises entre 193 nm et 10,6 µm.
Dispositifs de calibrage
La haute efficacité est atteinte grâce à une nouvelle conception qui exige le centrage de l’HEDS sur le trajet du faisceau. Lorsqu’il est déplacé, la forme du faisceau et l’efficacité totale de l’élément ne sont pas affectés ; toutefois, la distribution de la puissance entre les deux faisceaux change. Cette propriété peut représenter un avantage pour l’ajustement précis du rapport de division ; par exemple, il est possible de régler un rapport de 47:53 au lieu de 50:50.
Ces éléments sont utilisés pour des applications telles que la lithographie, la perforation, la découpe laser et d’autres applications de traitement des matériaux
