Laser Components ist dabei beim Projekt Nano-RuGIT, welches vom zentralen Innovationsprogramm Mittelstand ZIM gefördert wird. Das Ziel ist es, Pulskompressionsgitter kostengünstig und flexibel herstellen zu können. Entwickelt wird eine Gitterstruktur auf einem dielektrischen Wechselschichtsystem - mit maximaler Beugungseffizienz und bestmöglicher Zerstörschwelle für 20 fs Pulse bei Substratgrößen über 3“.
Projektstart war der 1. April mit einer Gesamtlaufzeit von zwei Jahren. Gemeinsam mit dem Institut für Strahlwerkzeuge Stuttgart (IFSW) und der Temicon GmbH fand Ende Juli das Kick-Off Meeting statt.
Es wird ein Laserspiegel mit einer spektralen Bandbreite von 100 nm mit R > 99.8 % @ 1030 nm angestrebt. Die Herstellung der Gitterstruktur soll dabei mittels der Nanoimprint Lithographie durch die Temicon GmbH erfolgen. Für eine Steigerung der Zerstörschwelle wird das Pulskompressionsgitter auf einem Hafnium-Siliziumdioxid Rugate-Design basieren.
In der aktuellen Arbeitsphase werden Einzelschichten hergestellt, um die verwendeten Beschichtungsmaterialien zu charakterisieren. Auf dieser Grundlage werden dann die Schichtdesigns für die Wechselschichtsysteme gefertigt – die Umsetzung erfolgt mit den Verfahren Ion Beam Sputtering (IBS) und Plasma Ion Assisted Deposition (PIAD) auf den Anlagen von Laser Components.
Hierfür wird ein Schichtdicken-Fehler < 1 % bei maximaler Bestückung der Anlagen anvisiert.
Abschließend werden die Proben durch die Temicon GmbH strukturiert und durch das IFSW auf ihre Funktionalität geprüft. Das beinhaltet unter anderem die Bestimmung der Beugungseffizienz aber auch der Reflektivität. Weiterhin wird die Zerstörschwelle der unstrukturierten sowie strukturierten Schichtsysteme normgerecht im cw-Betrieb und fs-Regime bestimmt und beide Verfahren miteinander verglichen.
