Bei Laseroptiken kennt man den einen Trend, dass die Bauteile immer kleiner und somit die Lasersysteme immer kompakter werden. Es gibt aber auch den anderen Trend – hin zu immer größeren Optiken. Die maximalen Leistungen bei Lasern in Großforschungseinrichtungen steigen kontinuierlich und die Optiken müssen immer größer werden, um mit diesen Leistungsdichten umgehen zu können. In solchen Fällen braucht man riesige Spiegel, die sehr homogen beschichtet sind.
Bei Laser Components wurde jetzt eine neue Anlage für solche Laseroptiken aufgebaut. Die ersten Beschichtungen sind gelaufen und die Anlage ist in die Fertigung integriert.
Mit dieser Anlage werden PIAD-Beschichtungen (Plasma Ion Assisted Deposition) gefertigt und mittels einer APS-Quelle (Advanced Plasma Source) sehr homogene und kompakte Schichten erzeugt. Die Coatings werden vollautomatisch und computergesteuert gefertigt. Die Schichtdicke wird dabei mittels eines Online-Monitorverfahrens permanent während des gesamten Prozesses überwacht und kontrolliert. Mit diesem System lassen sich Schichtdicken mit einer Genauigkeit von < 0,5 nm realisieren.
Mit der Anlage wird eine besonders hohe Prozesssicherheit gewährleistet: Coatings können präzise gefertigt und ein bestimmtes Design sehr genau reproduziert werden. Dies bedeutet für Sie eine gleichbleibend hohe Qualität. Es lassen sich ferner sehr komplexe Schichtsysteme realisieren, die mit konventioneller Technik nicht möglich wären.
Die Anlage ist so optimiert, dass Substrate bis Ø 390 mm mit einer auf der ganzen Fläche homogenen Schichtdicke gefertigt werden können (Abweichung <1%). Dies ist wichtig für Kunden, die solch große Optiken verwenden. Der maximale Besatz beträgt 3 Stück mit Ø 390 mm.
Ein anderer Vorteil ist die nun stark erhöhte Kapazität bei kleineren Optiken. Mit der neuen PIAD Anlage lassen sich in einer Charge bis zu 100 Spiegel der Größe Ø 50.8 mm (=2“) beschichten. Das erhöhte Fassungsvermögen ist ein Preisvorteil für Kunden, die solche Optiken in großen Mengen verwenden.
Der Wellenlängenbereich der Schichtsysteme umfasst den UV, sichtbaren und IR-Bereich von 248 nm bis 3000 nm – die meisten Laseranwendungen können somit bedient werden. Profitieren auch Sie von unseren Möglichkeiten. Wir freuen uns auf Ihre Anfragen.
