Die neuen diffraktiven Doppelspot Elemente von Holo/OR haben eine Effizienz von 97% - frühere Standardversionen schafften lediglich 81%.
High Efficiency Double Spot - HEDS
Diffraktive Strahlteiler teilen den Eingangsstrahl in Strahlen mit gleichen Eigenschaften auf. Die Intensität aller Teilstrahlen entspricht annähernd der Gesamtintensität des Eingangsstrahls. Bei den neuen „hocheffizienten Doppelspot-DOEs“ heißt das: Jeder Teilstrahl hat > 48% der Gesamtintensität!
Vorteil: Keine höheren Beugungsordnungen
Bei den bisherigen Versionen ging ein Teil des Lichts in die höheren Beugungsordnungen - in dem Graphen blau dargestellt. Bei den HEDS Elementen sind die höheren Beugungsordnungen vernachlässigbar klein: Ein Vorteil bei kritischen Anwendungen.
Die HEDS sind für Wellenlängen von 193 nm bis 10.6 µm erhältlich.
Besonderheiten der Justage
Die hohe Effizienz wird durch ein neuartiges Design erreicht, das eine Zentrierung des HEDS im Strahlengang erfordert.
Bei einer Verschiebung bleiben Spotform und Gesamteffizienz des Elements zwar erhalten, jedoch ändert sich Leistungsverteilung zwischen den beiden Spots. Diese Eigenschaft lässt sich andererseits geschickt für die Feinjustage des Teilungsverhältnisses nutzen: Statt des Verhältnisses 50:50 könnten 47:53 eingestellt werden.
Eingesetzt werden die Elemente beispielsweise in der Lithographie, zur Perforation, zum Laserschneiden oder anderen Materialbearbeitungs-Anwendungen.
