Bei der Überwachung von Laserstrahlen muss deren Messung während des Laserprozesses erfolgen: Dabei darf der Bearbeitungsstrahl nicht beeinflusst werden und der Messstrahl muss absolut identisch zum Bearbeitungsstrahl sein.
Eine hervorragende Möglichkeit ist die Verwendung eines diffraktiven Beamsamplers, denn der ausgekoppelte Strahl ist die perfekte Kopie des zu vermessenden Laserstrahls. Nicht nur das; es stehen mindestens zwei zusätzliche Strahlen zur Verfügung, sodass Leistungs- und Strahlprofil-Messung gleichzeitig durchgeführt werden können.
Und so funktioniert es: Das diffraktive optische Element, DOE, wird in Transmission in den kollimierten Strahlengang gebracht. Durch das DOE werden 99% des Hauptstrahls ohne Änderungen transmittiert, 1% der Strahlintensität wird für Messzwecke in höhere Ordnungen aufgeteilt; so wird ein Teil der Leistung bei z.B. ±15° abgegeben, weitere Kopien des Hauptstrahls mit noch niedrigeren Leistungen sind in den weiteren Ordnungen (±30°) zu finden.
Besonderheiten von DOE-Teilstrahlen: Die Intensitäten sind unabhängig von der Polarisation des Lasers; zudem haben sie das identische Strahlprofil und zwar in allen Bereichen!
Produktsortiment: Es stehen einige Standard-Elemente zur Verfügung, Designs nach Kundenwunsch für die Wellenlängen zwischen 193 nm und 10,6 µm sind zu attraktiven Preisen möglich.
